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蒸發(fā)設(shè)備:蒸發(fā)Esz系列 Esz-R-1/2

Batch式高真空蒸發(fā)設(shè)備ei系列是可對應(yīng)在基板上成金屬膜或氧化物膜的設(shè)備??赏ㄟ^操作面板進行集中控制,實現(xiàn)抽真空、成膜等作業(yè)內(nèi)容的集中自動化操作,適用于研究開發(fā)及少量生產(chǎn) 2.蒸發(fā)材料:金屬,ITO,二氧化硅等材料

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13913550251(沈先生)



產(chǎn)品特性 / Product characteristics



? 金屬,合金,非金屬,化合物等材料的高品質(zhì)蒸發(fā)鍍膜

? 鍍膜精度高,可達(dá)10E-10m

? 蒸發(fā)鍍膜的純度高,附著力強

? 鍍膜的均勻性好,重復(fù)性優(yōu)異

? 配置離子源進行表面處理

? 配置熱阻蒸發(fā),省材料

? 上位通信,材料掃描功能

? C2~12inch,不定型片,方片蒸發(fā)



產(chǎn)品應(yīng)用 / Product application



? 功率器件

? LED

? 光通信/傳感器

? LD

? 高校及研究所等


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