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濺射設(shè)備：SIV-500

用于particle抑制的通過型豎直濺射，可實(shí)現(xiàn)基板往復(fù)或line式搬送，多用于SiO、SiN等光學(xué)薄膜濺射，亦可用于金屬濺射。

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• 產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品特性 / Product characteristics

? 豎直搬送基板低particle產(chǎn)生 ? 省空間設(shè)計(jì) ? 形成膜條件多腔體單獨(dú)控制 ? 根據(jù)成膜物質(zhì)種類制定專用陰極

產(chǎn)品應(yīng)用 / Product application

? LED ? MEMS