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濺射設(shè)備：SME-200

全自動多工藝對應用最大搭載7個工藝腔的濺射設(shè)備，可實現(xiàn)多種類材料濺射，諸如高溫成膜（PZT等）、高精度側(cè)壁成膜、光學膜、化合物膜、合金膜等。枚葉式設(shè)計，可實現(xiàn)多工序濺射，同時有效抑制濺射中產(chǎn)生的高溫。

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0512-86669111-8150 李女士
13913550251（沈先生）

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產(chǎn)品特性 / Product characteristics

? Φ200mm可搬運基板 ? 作為處理室，陣容多樣的模塊 ? 介質(zhì)用模塊 ? 高溫成膜模塊 ? 精密分布模塊 ? 蝕刻模塊

產(chǎn)品應用 / Product application

? 電子零件 ? MEMS ? Power Device ? LED