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13913550251(沈先生)
產品特性 / Product characteristics |
? Loadlock式,自動運行,操作簡單 ? 成膜面積大,均勻性好 ? T/S距離60~180mm可調,適用廣 ? 可換托盤式,基板尺寸切換簡便 ? 2~8inch,方片,未定型片,切換兼容 ? 向上濺射,向下濺射可選,顆粒抑制 |
產品應用 / Product application |
? 半導體,LED,電力電子,高校及研究所等。 |